Mobiler Plasmareiniger, bestehend aus einem Hauptgerät, Anschluss Flansch, Micro - Pirani Interface und Steuerungs- und Auswertesoftware. Menge und Umfang: Gegenstand dieses Verfahrens ist die Beschaffung eines mobilen Plasmareinigers, bestehend aus einem Hauptgerät, Anschluss Flansch, Micro - Pirani Interface und Steuerungs- und Auswertesoftware. - Der Plasmareiniger muss für den Einsatz an verschiedenen Geräten geeignet sein (Wechselbar) - Die Reinigung muss mit einem NICHT-pulsierendem Plasma erfolgen

Zugang zu Ausschreibungsunterlagen für "Mobiler Plasmareiniger, bestehend aus einem Hauptgerät, Anschluss Flansch, Micro - Pirani Interface und Steuerungs- und Auswertesoftware. Menge und Umfang: Gegenstand dieses Verfahrens ist die Beschaffung eines mobilen Plasmareinigers, bestehend aus einem Hauptgerät, Anschluss Flansch, Micro - Pirani Interface und Steuerungs- und Auswertesoftware. - Der Plasmareiniger muss für den Einsatz an verschiedenen Geräten geeignet sein (Wechselbar) - Die Reinigung muss mit einem NICHT-pulsierendem Plasma erfolgen"

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