Zugang zu Ausschreibungsunterlagen für "Präzisionsreinigung von Halbleiteranlangenteilen mit Reinstqualität - Reinigungsqualität: Präzisionsreinigung gemäß IHP-Standards mit Reinstqualität - Reinigungsumgebung: Mindestens Reinraumbedingungen der Klasse ISO 5 - Komponentenverfügbarkeit: Zugang zu und Erfahrung mit Teilenummern und Prozesskits folgender Hersteller: o Applied Materials o SPTS Technologies Zu reinigende Anlagen / Kammern / Prozesskitteile gemäß Herstellervorgaben: - Applied Materials: TxZ, WxZ, TTN Widebody, Ti IMP, PCII, AlCu, NiPt, Co - DPS, DPS+, Poly DPS, Metal DPS, eMxP, HDP, DxZ, AXIOM, DPS II - SPTS: Rapier, Synapse, APM -> Detailierte Auflistung siehe Anlage zur Leistungsbeschreibung"

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